EPI 및 MOCVD

SIAMC의 흑연 부품 및 절연재는 우수한 열적, 기계적 특성으로 인해 반도체 에피택셜 장비에 널리 사용됩니다.에피택셜 성장 공정에서는 히터, 서셉터, 가스 인젝터, 가스 분배판 등의 열벽 반응기 구성 요소에 고순도 흑연이 사용됩니다.SIAMC 흑연 제품의 낮은 불순물 함량은 높은 공정 순도를 보장하고 고온 가공 중 입자 발생을 줄입니다.

또한, SIAMC의 절연재료는 에피택시 장비의 절연 및 보온용으로 사용되어 높은 공정온도를 유지하고 열손실을 줄여줍니다.이 소재는 우수한 단열 특성과 고온 저항성을 갖추고 있어 장비의 안정적이고 효율적인 작동을 보장합니다.

전반적으로 SIAMC의 흑연 부품 및 절연 재료는 에피택셜 성장 공정의 품질과 수율을 보장하는 데 중요한 역할을 하여 반도체 제조에 필수적입니다.