반도체 단결정 실리콘 성장SIAMC의 고순도 열전 재료는 실리콘 반도체 단결정 용해로 제조에 중요한 역할을 합니다.SIAMC는 흑연 순도가 5p에 달하는 36인치 이상의 대형 열전재료를 생산할 수 있습니다. 자세히보기

전자 폴리실리콘 제조SIAMC의 고순도 흑연 시드 덩어리는 Siemens 공정을 사용하여 전자급 폴리실리콘 생산에 널리 사용됩니다.종자 덩어리의 순도 요구 사항은 최대 5ppm입니다.SIAMC의 흑연은 이러한 고순도 요구 사항을 충족하고 탁월한 열 성능을 제공합니다. 자세히보기

이온주입 및 플라즈마 에칭SIAMC의 흑연 제품은 우수한 내열성, 열전도도, 낮은 불순물 함유량, 이온빔에 대한 내식성으로 인해 이온주입 및 플라즈마 에칭 장비에 널리 사용됩니다. 이온주입에는 고순도 흑연을 사용합니다. 자세히보기

EPI와 MOCVDSIAMC의 흑연 부품 및 절연재는 우수한 열적, 기계적 특성으로 인해 반도체 에피텍셜 장비에 널리 사용됩니다.에피택셜 성장 공정에서는 히터, 서셉터, 자세히보기